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BeamMap2 XYZΘΦ 掃描狹縫光束輪廓儀

BeamMap2的獨特且專利的設(shè)計在實時測量焦點位置、M2、光束發(fā)散度和指向性方面具有最大的優(yōu)勢。

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BeamMap2 光束分析儀

DataRay 的 BeamMap2 提供了一種全新的實時光束剖面分析方式。它在 Beam'R2 的基礎(chǔ)上進(jìn)一步拓展了測量能力,可在光束傳播路徑上的多個位置進(jìn)行測量。該實時掃描狹縫系統(tǒng)通過安裝在旋轉(zhuǎn)盤上的多組 Z 軸平面的 XY 狹縫對,能夠同時在四個不同的 Z 位置測量四個光束剖面。BeamMap2 獨特的設(shè)計特別適用于實時測量焦點位置、M² 值、光束發(fā)散角以及光束指向等參數(shù)。

 

主要特點/優(yōu)勢:
  • 多種探測器選項,覆蓋波長范圍 190 到 2500 nm:

    • 190–1150 nm:硅(Si)探測器

    • 650–1800 nm:InGaAs 探測器

    • 1800–2300/2500 nm:擴(kuò)展型 InGaAs 探測器

  • 符合 ISO 標(biāo)準(zhǔn)的光束直徑測量

  • USB 2.0 接口供電

  • 自動增益功能

  • 可選配支持 ISO 11146 標(biāo)準(zhǔn) M² 測量的滑臺附件

  • True2D™ 狹縫技術(shù)

  • 分辨率高達(dá) 0.1 µm

  • 更新速率 5 Hz(可調(diào)范圍 2–10 Hz)

  • 支持連續(xù)波(CW)和準(zhǔn)連續(xù)波(Quasi-CW)光束剖面分析

  • 可測光斑直徑范圍:5 µm 至 4 mm

  • 多個 Z 平面的光束剖面掃描

  • 可同時獲取 XYZ 剖面以及 θ–Φ 指向角信息

  • 實時測量焦點位置與光斑直徑

  • 實時 M²、光束指向與發(fā)散角測量

  • 可實現(xiàn) ±1 µm 重復(fù)性識別焦點位置(具體取決于光束特性)

示例應(yīng)用:
  • 微小激光光斑的剖面測量

  • 光學(xué)組件裝配與系統(tǒng)對準(zhǔn)

  • OEM 系統(tǒng)集成

  • 透鏡焦距測試
  • 聚焦與準(zhǔn)直誤差的實時診斷

  • 多個光學(xué)組件焦點統(tǒng)一調(diào)節(jié)

  • 配合 M2DU 滑臺進(jìn)行 M² 測量

規(guī)格參數(shù):
規(guī)格 細(xì)節(jié)參數(shù)
波長 Si 探測器:190 至 1150 nm
InGaAs 探測器:650 至 1800 nm
Si + InGaAs 探測器組合:190 至 1800 nm
Si + 擴(kuò)展型 InGaAs 探測器組合:190 至 2300 或 2500 nm
掃描光斑直徑范圍  Si 探測器:5 µm 至 4 mm
InGaAs 探測器:10 µm 至 3 mm
擴(kuò)展型 InGaAs 探測器:10 µm 至 2 mm
Z 軸平面間距(Plane Spacing) 100 µm:-100、0、+100、+400 µm
250 µm:-250、0、+250、+1000 µm
500 µm:-500、0、+500、+2000 µm
750 µm:-750、0、+750、+3000 µm
光束腰直徑測量 滿足 ISO 11146 的二階矩(4σ)直徑
支持高斯擬合與頂帽擬合
1/e²(13.5%)寬度
可由用戶設(shè)置峰值百分比
光束腰位置測量 X、Y、Z 三軸方向的最優(yōu)重復(fù)性 ±20 µm(建議聯(lián)系 DataRay 獲得推薦方案)
可測光源類型 連續(xù)波(CW)、準(zhǔn)連續(xù)波(Quasi-CW)激光
分辨率精度 0.1 µm 或掃描范圍的 0.05%
誤差:± <2%(±0.5 µm)
M² 測量范圍 1 到 >20,精度 ±5%
發(fā)散角 / 準(zhǔn)直度 / 指向測量 最優(yōu)分辨率達(dá) 1 mrad(建議聯(lián)系 DataRay 獲取推薦方案)
最大功率與光強(qiáng)密度 最大總功率 1 W,最大光強(qiáng)密度 0.5 mW/µm²
增益范圍 切換增益比 1000:1,ADC 動態(tài)范圍達(dá) 4096:1
圖形顯示 X-Y 位置圖與剖面圖,支持 1 倍至 16 倍縮放
刷新率 約 5 Hz,可調(diào)節(jié)范圍 2 至 10 Hz
合格/不合格顯示 屏幕上可設(shè)置合格/不合格顏色,適合質(zhì)檢與生產(chǎn)使用
數(shù)據(jù)平均處理 用戶可選滑動平均,支持 1 至 8 次采樣平均
統(tǒng)計功能 最小值、最大值、平均值、標(biāo)準(zhǔn)差;支持長期數(shù)據(jù)記錄
XY 剖面與質(zhì)心 可顯示光束漂移并記錄相關(guān)數(shù)據(jù)
最低系統(tǒng)要求 Windows 10 64 位操作系統(tǒng)

* 產(chǎn)品規(guī)格可能在未通知的情況下變更。

圖表:


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